Bergische Universität Wuppertal
Forschungsbericht 2003 - 2005

Fachbereich E - Elektrotechnik, Informationstechnik, Medientechnik

Mikroelektronik
Forschungszentrum für Mikrostrukturtechnik - fmt

Prof. Dr.-Ing. Dr. h. c. mult. Jürgen Engemann

1. Ortsaufgelöste Stromdichte-/Energieverteilungsanalyse in einem reaktiven Niederenergie-Ionenstrahl großen Querschnittes

2. Monomer-Rückströmung in schichtbildenden Hohlkathoden-Plasma-Jet-Quellen

3. Randschichtdynamik in gepulsten Plasmen: Orts- und zeitaufgelöste Messungen und Modellbildung (Teilprojekt B4 im Sonderforschungsbereich 591)

4. Erarbeitung eines Qualifizierungskonzepts für die Plasmatechnik (Q-Plas)

5. Theoretische und experimentelle Untersuchungen zum Einschluss von Plasmastrukturen bei Hochfrequenzentladungen

6. Modellierung, Skalierung und Anwendung von Gleichspannungs-Glimmentladung-Plasmaquellen bei Atmosphärendruck

7. Hochfrequenz-Hohlkathodenplasma-Matrizen bei atmosphärischem Druck für die Oberflächenbeschichtung, -modifikation und -reinigung

8. Untersuchung der dielektrisch behinderten Oberflächenentladung für den Einsatz als Remote-Plasmaquelle bei Atmosphärendruck

9. Modulare Atmosphärendruck-Plasma-/Metastabilen-Quellen mit kontrollierter Gasführung, Teilprojekt: Atmosphärendruck-Plasma/Metastabilen-Quelle mit koplanarer Barrierenentladung

10. Modulares Verbundprojekt: Inline Plasmaätzanlage für die Solarzellenfertigung – INPLAS, Teilvorhaben: Hohlkathodenplasmaquellen

11. Verbundprojekt: Analyse und Modellierung der Einwirkung gepulster Plasmen auf Oberflächen, Teilvorhaben: Grundlegende Untersuchungen zur Steuerung und Reaktionskinetik von Stickstoff/Wasserstoff- und Kohlenwasserstoffplasmen für Ätz- und Depositionsprozesse

12. Verbundprojekt: Plasmagestützte Oberflächenmodifikation von medizin- und biotechnischer Bedeutung, Teilvorhaben: Abscheidung von biomedizinisch relevanten Schichtsystemen durch zeitmodulierte Plasma-Copolymerisation